光刻機(jī)將成為歷史!
前不久麻省理工華裔研究生朱家迪突破了常溫條件下由二維(2D)材料制造成功的原子晶體管,每個(gè)晶體管只有3個(gè)原子的厚度,堆疊起來制成的芯片工藝將輕松突破1nm!
目前的半導(dǎo)體芯片都是在晶圓上通過光刻/蝕刻等工藝加工出來的三維立體結(jié)構(gòu),所以堆疊多層晶體管以實(shí)現(xiàn)更密集的集成是非常困難的。先進(jìn)制程工藝的發(fā)展也在1~3nm這里停頓了很長(zhǎng)一段時(shí)間。
但是由超薄2D材料制成的半導(dǎo)體晶體管,單個(gè)只有3個(gè)原子的厚度,可以大量堆疊起來制造更強(qiáng)大的芯片,配合一種不會(huì)損壞芯片的低溫生成工藝,可直接將2D半導(dǎo)體晶體管集成在標(biāo)準(zhǔn)硅電路之上。
該技術(shù)不需要光刻機(jī)就可以使芯片輕松突破1nm工藝,且能減少芯片生成時(shí)間,降低生產(chǎn)成本。若光刻機(jī)技術(shù)長(zhǎng)時(shí)間無法突破1nm工藝,那么光刻機(jī)或許就會(huì)成為歷史。
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